英特爾昨天宣布，已同意將IMS Nanofabrication事業（IMS）約百分之十股份出售給台積電。這筆交易對IMS估值約四十三億美元，與最近決定出售百分之二十IMS股權給貝恩資本（Bain Capital）的股權估值一致。英特爾強調仍將保留IMS多數股權，IMS也會在執行長Elmar Platzgummer領導下，繼續以獨立子公司型態營運。此次股權交易預計二○二三年第四季完成。
台積電業務開發資深副總經理張曉強表示，台積自二○一二年以來持續與IMS合作開發用於先進技術節點的多重電子束光罩寫入工具。這項投資延續了台積電與IMS間長期合作夥伴關係，以加速創新並深化跨產業合作機會。
IMS是開發先進極紫外光（EUV）所需的多重電子束光罩寫入工具領導廠商，此工具廣泛應用於支持最嚴苛運算應用的前沿技術節點。貝恩資本和台積電的投資增加了IMS的獨立性，加速推動下一階段微影技術創新、例如高數值孔徑（high-NA）極紫外光，引領產業朝新型圖案化系統轉型。
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