TEL集團總裁河合利樹：數位化和脫碳應成為世界的共享價值觀

被視為推動AI背後重大基石的全球半導體大廠Tokyo Electron(TEL)在台子公司東京威力科創，2023國際半導體展也不缺席，TEL集團總裁暨執行長河合利樹今年特別來台，於大師論壇分享有關半導體創新及世界的共享價值。

河合利樹執行長表示：「半導體產業的市場在2022年來到5740億美元，預期在2030年更將幾乎翻倍，超過1兆美元的市場價值；但人們也擔心將帶來巨大的能源消耗。因此Green x Digital正是我們所需要的。做為全球領先的半導體製造設備商，我們認為數位化和脫碳應該成為世界的共享價值觀。」

此外，東京威力科創技術長(CTO)洛彼得Peter Loewenhardt也參與此次IC Forum，將分享TEL半導體製造設備的最新技術。包含雷射晶邊修整系統(UlucusTM L)，它大量減少純淨水的使用及粉塵、廢水的排放。洛彼得也將討論最新微影技術如何減少所需的EUV曝光次數，以節省電力及降低成本；極低溫蝕刻技術，利用極低的溫度，提高高深寬比蝕刻的速度及精確度。

東京威力科創總裁張天豪進一步補充說，近期大家常提到的EUV曝光機，但晶圓製程中還有很重要的設備塗布顯影設備，TEL在這領域有將近100%市佔率，也有很多全球獨一無二的技術。他提到，首先是極低溫蝕刻技術，能利用極低的溫度，提高高深寬比蝕刻的速度及精確度；以及雷射晶邊修整系統，大量減少純淨水的使用及粉塵、廢水的排放達70%，｢以技術端來觸發經濟成長，這是我們的責任」。

東京威力科創是Tokyo Electron(TEL)的台灣子公司，成立於1996年，於新竹科學園區設立總部，並於北中南各地設置辦公室，將半導體製造設備的高科技服務在地深耕。東京威力科創總裁張天豪表示：「我們非常重視台灣的客戶，並致力提供確實可靠服務，我們除了成立台灣技術中心、台灣訓練中心，更預計在2024年底啟用台南營運中心，我們預期，半導體製造設備市場將邁向兩年累計2000億美元的規模。東京威力科創早已做足準備。」

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